Характеристики упаковки
Тип цилиндра | Содержание | |
Емкость | Клапан | Масса |
47L | ДИСС632 | 12 кг |
440L | ДИСС632 | 120 кг |
Электронный СиХ4 99,9999%
Спецификация | 99,9999% |
СО | ≤ 0,05 частей на миллион |
СО2 | ≤ 0,05 частей на миллион |
Всего Cl | ≤ 0,1 частей на миллион |
СН4 | ≤ 0,05 частей на миллион |
С2-С4 | ≤ 0,1 частей на миллион |
N2 | ≤ 0,5 частей на миллион |
O2 | ≤ 0,05 частей на миллион |
Влага | ≤ 0,1 частей на миллион |
Силиловый эфир | ≤ 0,1 частей на миллион |
Метилсилан | ≤ 0,1 частей на миллион |
Дисилан | ≤ 0,3 частей на миллион |
H2 | ≤ 20 частей на миллион |
Ал | ≤ 0,02 частей на миллиард |
Сб | ≤ 0,02 частей на миллиард |
Как | ≤ 0,02 частей на миллиард |
Га | ≤ 0,02 частей на миллиард |
B | ≤ 0,02 частей на миллиард |
P | ≤ 0,02 частей на миллиард |
Fe+Cr+Ni+Cu+Zn | ≤ 1 частей на миллиард |