BCl3

Емкость

Клапан

Масса

47L

CGA660

50 кг

кл₂

≤ 10 частей на миллион

SiCl₄

≤ 300 частей на миллион

O₂

≤ 1 ч/млн

N₂

≤ 4 частей на миллион

СО

≤ 0,5 частей на миллион

СО₂

≤ 2 частей на миллион

СН₄

≤ 0,5 частей на миллион

Фосген

≤ 1 ч/млн

O₂

≤ 0,5 частей на миллион

N₂

≤ 1 ч/млн

СН₄

≤ 0,5 частей на миллион

СО

≤ 0,6 частей на миллион

СО₂

≤ 1 ч/млн

HCl

≤ 1 ч/млн

кл₂

≤ 1 ч/млн

SiCl₄

≤ 2 частей на миллион

Фосген

≤ 1 ч/млн

Вышеуказанные концентрации (% или ppm) выражены в газовой фазе и рассчитываются по объему.

Ал

≤ 10 частей на миллиард

Калифорния

≤ 10 частей на миллиард

Cr

≤ 10 частей на миллиард

Cu

≤ 10 частей на миллиард

Фе

≤ 30 частей на миллиард

K

≤ 20 частей на миллиард

мг

≤ 10 частей на миллиард

Мин.

≤ 10 частей на миллиард

На

≤ 10 частей на миллиард

Ни

≤ 10 частей на миллиард

Зн

≤ 10 частей на миллиард

Как

≤ 20 частей на миллиард

Си

≤ 10 частей на миллиард

Ба

≤ 10 частей на миллиард

Сб

≤ 10 частей на миллиард

Аг

≤ 100 частей на миллиард

Ли

≤ 10 частей на миллиард

Pb

≤ 10 частей на миллиард

Ау

≤ 100 частей на миллиард

Вышеуказанная концентрация (ppb) выражается в виде жидкой фазы, рассчитанной по весу.